联系人:李强 ()
公司地址:中国.山东省.青岛市.城阳区双元路西(空港工业园内)
青岛精诚华旗微电子设备有限公司
青岛华旗科技有限公司(青岛精诚华旗微电子设备有限公司,建于1993年)位于青岛空港工业园,紧邻青岛流亭国际航空港。占地约15000平方米,建筑面积约21000平方米。
华旗科技为的半导体材料、IC器件工艺、新材料工艺(成套)设备及解决方案的高科技研发制造企业。服务于新能源、新材料及环境保护产业。致力于为IC器件、太阳能电池、LED照明、新材料等制造厂家及科研院所提供先进的工艺设备(含成套设备及解决方案)。工艺(成套)设备包括薄膜、外延、晶体生长、精密真空热处理、配气系统及废气处理等。
核心工艺设备为薄膜工艺:LPCVD、PECVD、氧化扩散系统等。外延:MOCVD(研发型)等。晶体生长:VGF/VB、
HGF/HB等、HVPE、PVT等。精密真空热处理:单室、双室(多室)真空炉、RTP、传统管式炉等。配气系统:气瓶柜/
气瓶架、配气柜、气源柜、阀门箱、二次配管等。SCRUBBER(废气处理):湿法、湿法+燃烧等。
出色地完成了部分国家863项目(如GaN厚膜生长的HVPE系统、MOCVD系统等